音叉振動式力センサ 音叉振動式力センサ（１）
こんにちは。 今回は「音叉振動式力センサ」の説明です。ブログの初回及び「すばる望遠鏡の主鏡制御用音叉振動式力センサ」の中で紹介していますが今回から解説して行きます。 「音叉振動式力センサ」は1978年頃日本で原型が生まれ1980頃最初に圧力センサとして実用化されました。筆者が前職ではかり用の音叉振動式力センサの開発をグループで始めたのが1981年、現在の形状の原型となる力センサを使用した音叉式電子はかりが商品化されたのが1983年です。 開発されてから40年以上過ぎていますが、今回から説明する形...